Application of structural matrices for the simulation of mems devices

Loading...
Thumbnail Image

Date

2015

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Львівської політехніки

Abstract

Розглянуто підхід до моделювання МЕМС пристроїв із використанням методу структурних матриць. Розроблено структуру підсистеми для визначення основних характеристик широкого класу пристроїв. In the article the approach to modeling of MEMS devices using the method of structural matrices is presented. The structure of the subsystem to determine the basic characteristics of a broad class of devices.

Description

Keywords

МЕМС пристрій, математична модель, диференціальне рівняння, структурні матриці, MEMS device, mathematical model, differential equation, structural matrices

Citation

Application of structural matrices for the simulation of mems devices / B. Karkulovskyi, V. Karkulovskyy, R. Kryvyy, R. Panchak, O. Pauchok // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Комп’ютерні системи проектування теорія і практика : збірник наукових праць. – 2015. – № 828. – С. 53–56. – Bibliography: 3 titles.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By