Application of structural matrices for the simulation of mems devices
No Thumbnail Available
Date
2015
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Розглянуто підхід до моделювання МЕМС пристроїв із використанням методу
структурних матриць. Розроблено структуру підсистеми для визначення основних
характеристик широкого класу пристроїв. In the article the approach to modeling of MEMS devices using the method of structural matrices is presented. The structure of the subsystem to determine the basic characteristics of a broad class of devices.
Description
Keywords
МЕМС пристрій, математична модель, диференціальне рівняння, структурні матриці, MEMS device, mathematical model, differential equation, structural matrices
Citation
Application of structural matrices for the simulation of mems devices / B. Karkulovskyi, V. Karkulovskyy, R. Kryvyy, R. Panchak, O. Pauchok // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Комп’ютерні системи проектування теорія і практика : збірник наукових праць. – 2015. – № 828. – С. 53–56. – Bibliography: 3 titles.