(Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2002-03-26) Дорош, Н. В.; Кучмій, Г. Л.; Національний університет “Львівська політехніка”
Наведено технологію лазеростимульованої дифузії бору в кремнії для одержання концентрації домішки порядку ІО20 см 3 при зниженні температури та часу
дифузійного відпалу з метою підвищення чутливості мікроелектронних сенсорів тиску. Наведено методику визначення порогової потужності лазерного випромінювання для створення порушених областей кремнієвої пластини.
