Дослідження величин спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ DSM-960A (CARL Zeiss, Німеччина) та точності їх врахування

Abstract

По результатам измерений цифровых РЭМ- изображений тест-сетки с разрешением 1425лин / мм, полученных на цифровом РЭМ DSM-960A (Carl Zeiss, Германия, определены их масштабные и геометрические искажения в диапазоне увеличений РЭМ от 1000х до 20000. Установлено, что масштабным искажениям цифровых РЭМ-изображений, полученных на этом типе РЭМ, свойственен систематический характер, независимо от величины увеличения они составляют примерно -2 % вдоль оси х снимка и -4 % вдоль оси у снимка. Величины геометрических искажений РЕМ-изображений значительны, возрастают с увеличением масштаба, также имеют систематический характер и могут быть учтены с помощью полиномиальной аппроксимации. For measurements of digital SEM images of test grid with a resolution 1425 lin/mm taken on a digital SEM DSM-960A (Carl Zeiss, Germany), are defined by their scale and geometric distortion of the SEM magnification range from 1000h to 20000h. Found that the large-scale distortions of digital SEM images obtained in this type of SEM is systematic, regardless of the increase and is approximately -2 % along the x-axis image and -4 % along the y-axis with a picture. The geometrical distortion SEM images are significant, increase with increasing scale, as is systematic and can be considered by polynomial approximation.