Низькотемпературні характеристики мікрокристалів кремнію на пружних елементах для створення п’єзорезистивних сенсорів

dc.contributor.authorДружинін, А. О.
dc.contributor.authorМар'ямова, І. Й.
dc.contributor.authorКутраков, О. П.
dc.contributor.authorПавловський, І. В.
dc.date.accessioned2017-02-08T10:15:45Z
dc.date.available2017-02-08T10:15:45Z
dc.date.issued2004
dc.description.abstractДосліджувались характеристики ниткоподібних кристалів (НК) кремнію р-типу, закріплених на пружних елементах з інвару, в широкому діапазоні деформацій ^0-=-±1,26x103 відн. од. і температур 4,2-КЗОО К з різною концентрацією бору: сильно-леговані кристали з металевою провідністю; поблизу переходу метал-діелектрик (ПМД) з металевого боку; поблизу ПМД з діелектричного боку. В НК Si поблизу ПМД при гелієвих температурах спостерігався значний некласичний п’єзоопір. Отримані характеристики НК Si, закріплених на пружних елементах, дозволяють прогнозувати параметри п’єзорезистивних сенсорів механічних величин, створених на їх основі, для низьких температур. Characteristics of p-type silicon whiskers with different boron doping: heavily doped crystals with metallic conductivity; in the vicinity of metal-insulator transition (MIT) from the metallic side and in the vicinity of MIT from the insulating side, mounted on the invar spring elements were studied in the wide range of strains ^0-=-±1.26xl03 rel. un. and temperatures 4.2-K300 K. In Si whiskers in the vicinity of MIT the great non-classic piezoresistance at helium temperatures was observed. Obtained characteristics of Si whiskers mounted on the spring elements allowed to forecast the performance of piezoresistive mechanical sensors created on their basis, operating at low temperatures.uk_UA
dc.identifier.citationДружинін А. О. Низькотемпературні характеристики мікрокристалів кремнію на пружних елементах для створення п’єзорезистивних сенсорів / А. О. Дружинін, І. Й. Мар’ямова, О. П. Кутраков, І. В. Павловський // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 513 : Електроніка. – С. 125–130. – Бібліографія: 10 назв.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/35783
dc.language.isouauk_UA
dc.publisherВидавництво Національного університету "Львівська політехніка"uk_UA
dc.titleНизькотемпературні характеристики мікрокристалів кремнію на пружних елементах для створення п’єзорезистивних сенсорівuk_UA
dc.title.alternativeLow-temperature characteristics of silicon microcrystals on the spring element for development of piezoresistive sensors
dc.typeArticleuk_UA

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
21_125-130.pdf
Size:
235.5 KB
Format:
Adobe Portable Document Format