Модифікація структурного стану чутливих елементів тонкоплівкових термоперетворювачів

Date

2007

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”

Abstract

Проаналізовано можливості модифікації структурного стану тонкоплівкових термоперетворювачів та визначено основні критерії вибору матеріалів для їхнього виготовлення. Проанализированы возможности модификации структурного состояния тонкопленочных термопреобразователей и определены основные критерии выбора материалов для их изготовления. Possibilities of modification of the structural state of thin-films thermoelements are analysed and certained the basшс criteria of choice of materials for their making.

Description

Keywords

Citation

Семенистий А. Модифікація структурного стану чутливих елементів тонкоплівкових термоперетворювачів / Семенистий Арсен, Стадник Богдан, Скоропад Пилип // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник / Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор Б. І. Стадник. – Львів : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2007. – Випуск 67. – С. 61–65. – Бібліографія: 27 назв.