Використання методу сублімації для отримання діелектричних плівок AL2O3 на сталі 40х13
No Thumbnail Available
Date
2013
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Використовуючи явище сублімації і подальше доокиснення на повітрі, на сталі 40Х13 одержано плівки оксиду алюмінію. Розмір часточок порошку становив 50 мкм. Для синтезування оксидної плівки використано випаровувачі з Mo і W, на які осаджувалися плівки і дозатор для термічного випаровування. У разі швидкої подачі порошку на випаровувач оксид алюмінію спікався і випаровування відбувалося практично з тигля Al 2 O3. Using phenomenon of sublimation and subsequent oxidation on air on the steel 40Х13 received film aluminum oxide. The particle size of powder was 50 microns. To synthesize oxide film used evaporators with Mo and W where occurred depositing of films and proportioner for thermal evaporation. At fast feed of powder on evaporator, aluminium oxide sintered and evaporation occurred practically from crucible of Al 2 O3.
Description
Keywords
Citation
Використання методу сублімації для отримання діелектричних плівок AL2O3 на сталі 40х13 / З. А. Дурягіна, В. Я. Підкова, С. О. Ольшевська, А. П. Оксенюк // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2013. – № 760 : Оптимізація виробничих процесів і технічний контроль у машинобудуванні та приладобудуванні. – С. 85-88. – Бібліографія: 9 назв.