Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості

dc.contributor.authorСолован, М. М.
dc.contributor.authorБрус, В. В.
dc.contributor.authorМар'янчук, П. Д.
dc.contributor.authorКафанов, А. М.
dc.date.accessioned2014-02-04T13:47:09Z
dc.date.available2014-02-04T13:47:09Z
dc.date.issued2013
dc.identifier.citationВплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості / М. М. Солован, В. В. Брус, П. Д. Мар'янчук, А. М. Кафанов // Шістнадцята щорічна відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки з проблем електроніки та інфокомунікаційних систем : програма та тези доповідей, 2–4 квітня 2013 року, Львів / Національний університет "Львівська політехніка", Інститут телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – С. 70. – Бібліографія: 1 назва.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/23072
dc.language.isouauk_UA
dc.publisherВидавництво Львівської політехнікиuk_UA
dc.titleВплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивостіuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
54-70-70.pdf
Size:
125.9 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: