Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості
| dc.contributor.author | Солован, М. М. | |
| dc.contributor.author | Брус, В. В. | |
| dc.contributor.author | Мар'янчук, П. Д. | |
| dc.contributor.author | Кафанов, А. М. | |
| dc.date.accessioned | 2014-02-04T13:47:09Z | |
| dc.date.available | 2014-02-04T13:47:09Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості / М. М. Солован, В. В. Брус, П. Д. Мар'янчук, А. М. Кафанов // Шістнадцята щорічна відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки з проблем електроніки та інфокомунікаційних систем : програма та тези доповідей, 2–4 квітня 2013 року, Львів / Національний університет "Львівська політехніка", Інститут телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – С. 70. – Бібліографія: 1 назва. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/23072 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | uk_UA |
| dc.title | Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |