Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості
No Thumbnail Available
Date
2013
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Description
Keywords
Citation
Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості / М. М. Солован, В. В. Брус, П. Д. Мар'янчук, А. М. Кафанов // Шістнадцята щорічна відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки з проблем електроніки та інфокомунікаційних систем : програма та тези доповідей, 2–4 квітня 2013 року, Львів / Національний університет "Львівська політехніка", Інститут телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – С. 70. – Бібліографія: 1 назва.