The frequency characteristic Of MEMS beam resonator
No Thumbnail Available
Files
Date
2010
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
In this paper the model of the MEMS
(microelectromechanical systems) beam resonator.
Description
Keywords
MEMS, resonator, frequency Characteristic
Citation
The frequency characteristic Of MEMS beam resonator / Тaras Bibikov, Oleksandr Bogdan, Oleg Petrishev, Yuriy Yakymenko, Tetiana Bogdan // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 363. – Bibliography: 1 title.