The frequency characteristic Of MEMS beam resonator
| dc.contributor.author | Bibikov, Тaras | |
| dc.contributor.author | Bogdan, Oleksandr | |
| dc.contributor.author | Petrishev, Oleg | |
| dc.contributor.author | Yakymenko, Yuriy | |
| dc.contributor.author | Bogdan, Tetiana | |
| dc.date.accessioned | 2011-02-14T14:25:35Z | |
| dc.date.available | 2011-02-14T14:25:35Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.description.abstract | In this paper the model of the MEMS (microelectromechanical systems) beam resonator. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | The frequency characteristic Of MEMS beam resonator / Тaras Bibikov, Oleksandr Bogdan, Oleg Petrishev, Yuriy Yakymenko, Tetiana Bogdan // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 363. – Bibliography: 1 title. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7399 | |
| dc.language.iso | en | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | uk_UA |
| dc.subject | MEMS | uk_UA |
| dc.subject | resonator | uk_UA |
| dc.subject | frequency Characteristic | uk_UA |
| dc.title | The frequency characteristic Of MEMS beam resonator | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |