Наноструктуровані температурно- та вологочутливі сенсорні структури на основі шпінельної кераміки

Date
2011
Authors
Клим, Г. І.
Гадзаман, І. В.
Шпотюк, О. Й.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Проаналізовано можливості одержання наноструктурованих температурно- та вологочутливих товстоплівкових структур на основі напівпровідникової та діелектричної кераміки різних хімічних складів Cu0,1Ni0,1Co1,6Mn1,2O4 (з p+-типом електричної провідності), Cu0,1Ni0,8Co0,2Mn1,9O4 (з p-типом електричної провідності) та діелектричної кераміки MgAl2O4 (і-тип). Показано, що температурночутливі товсті плівки мають чутливість на ділянці температур від 298 до 368 К, а вологочутливі – на ділянці відносних вологостей від 40 до 98 %. Одержані товстоплівкові структури можна успішно застосовувати для одержання інтегрованих температурно-, вологочутливих сенсорів моніторингу та контролю навколишнього середовища. Nanostructured temperature and humidity-sensitive thick-film structures based on spinel-type semiconducting and dielectric ceramics of different chemical composition Cu0,1Ni0,1Co1,6Mn1,2O4 (with p+-types of electrical conductivity), Cu0,1Ni0,8Co0,2Mn1,9O4 (with ptypes of electrical conductivity) and insulating (i-type) MgAl2O4 ceramics were fabricated and studied. It is shown that temperature-sensitive thick films possess sensitivity in the region from 298 to 358 K and humidity-sensitive thick films are sensitive from 40 to 98 %. Obtained thickfilm structures can be successfully applied for integrated temperature-humidity sensors of environmental monitoring and control.
Description
Keywords
шпінель , товста плівка , багатошарова структура , spinel , інтегрований сенсор , thick film , multilayer structure , integrated sensor
Citation
Клим Г. І. Наноструктуровані температурно- та вологочутливі сенсорні структури на основі шпінельної кераміки / Г. І. Клим, І. В. Гадзаман, О. Й. Шпотюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2011. – № 708 : Електроніка. – С. 77–83. – Бібліографія: 18 назв.