Особливості і моделі травлення в субмікронній технології великих інтегральних схем
No Thumbnail Available
Date
2002
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract
На основі експериментальних досліджень рідинного та плазмохімічного травлення розроблені моделі ізотропного та анізотропного травлення функціональних шарів при формуванні субмікронних структур великих інтегральних схем (ВІС). In virtue of an experimental research of the liquid and plasma-chemical etching of functional layers the models of isotropic and anisotropic etching have been developed in the engineering process of submicron structures of the large-scale integrated circuits.
Description
Keywords
Citation
Новосядлий С. Особливості і моделі травлення в субмікронній технології великих інтегральних схем / С. Новосядлий, Н. Іванців, В. Іванців // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2002. – № 444 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 48–56. – Бібліографія: 6 назв.