Особливості і моделі травлення в субмікронній технології великих інтегральних схем
| dc.contributor.author | Новосядлий, С. | |
| dc.contributor.author | Іванців, Н. | |
| dc.contributor.author | Іванців, В. | |
| dc.date.accessioned | 2017-09-19T08:42:46Z | |
| dc.date.available | 2017-09-19T08:42:46Z | |
| dc.date.issued | 2002 | |
| dc.description.abstract | На основі експериментальних досліджень рідинного та плазмохімічного травлення розроблені моделі ізотропного та анізотропного травлення функціональних шарів при формуванні субмікронних структур великих інтегральних схем (ВІС). In virtue of an experimental research of the liquid and plasma-chemical etching of functional layers the models of isotropic and anisotropic etching have been developed in the engineering process of submicron structures of the large-scale integrated circuits. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Новосядлий С. Особливості і моделі травлення в субмікронній технології великих інтегральних схем / С. Новосядлий, Н. Іванців, В. Іванців // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2002. – № 444 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 48–56. – Бібліографія: 6 назв. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/39161 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету «Львівська політехніка» | uk_UA |
| dc.title | Особливості і моделі травлення в субмікронній технології великих інтегральних схем | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |