Аналіз параметрів кола первинного перетворювача ємнісних сенсорів вологості

Abstract

Розглянуті методи аналізу параметрів кола первинного перетворювача в сенсорах вологості ємнісного типу. Відзначено, що у деяких задачах необхідний детальний аналіз розподілених структур ємнісних перетворювачів, параметрами яких є не лише ємність, але і опори та індуктивності. Показано, що при значних значеннях паразитної індуктивності розподіленої структури відзначена нестабільність перехідних процесів заряду ємності сенсора. The methods for analysis of circuit parameters of primary transducer in humidity sensors of capacitive type are considered. It is established that detailed analysis of distributed structures of capactive sensors is required and it is necessary to take into anto account not only capacitance but also resistance and inductance. High parasitic inductance can cause instability in charge transition processes of sensor capacity.