Мікроелектромеханічні системи у сучасному приладобудуванні

Abstract

Аналізується стан мікросистемного приладобудування як перспективний напрям розвитку науки та техніки, подається описання основних вузлів мікроелектромеханічних систем з описанням конструктивних особливостей та галузей їхнього застосування. Також розглядається проблематика проектування та виготовлення мікросистемних приладів. Анализируется состояние микросистемного приборостроения как перспективное направление развития науки и техники, подается описание основных узлов микроэлектромеханических систем с описанием конструктивных особенностей и отраслей их применения. Рассмотрена проблематика проектирования и изготовления микросистемных приборов. The state of the microsystem technology as perspective direction of science and technique development is analyzed; description of the microelectromechanical systems basic parts and description of structural features and industries of their application are given. The design and production problems of the microsystem devices are discussed too.