Модифікація поверхні кремнієвої підкладки з використанням нанотекстурованих шарів для підвищення ефективності фотоелектричних перетворювачів

Abstract

Дисертацію присвячено розв’язанню науково-практичного завдання відтворюваного отримання нанотекстурованих кремнієвих структур з покращеними антивідбивними властивостями, які сприяють зменшенню оптичних втрат та підвищенню ефективності фотоелектричних перетворювачів на їх основі. Основну увагу зосереджено на створенні ієрархічних структур, які поєднують мікромасштабні пірамідальні текстури з нанорозмірними кремнієвими нанодротами, сформованими методом метал-каталітичного хімічного травлення. Досліджено вплив пасивації поверхні полімером та легування з використанням твердих планарних джерел на фотоелектричні параметри отриманих структур. The dissertation is devoted to solving the scientific and practical problem of reproducible production of nanotextured silicon structures with improved antireflective properties, which contribute to reducing optical losses and increasing the efficiency of photovoltaic converters based on them. The main attention is focused on the creation of hierarchical structures that combine microscale pyramidal textures with nanosized silicon nanowires formed by the method of metal-catalytic chemical etching. The influence of surface passivation with a polymer and doping using solid planar sources on the photovoltaic parameters of the obtained structures is studied.