Реалізація комп’ютерного проектування дискретних НВЧ фазообертачів з комутуючими МЕМС елементами в інтегральному виконанні

Abstract

Наведено результати комп’ютерного проектування двох основних різновидів НВЧ фазообертачів (з комутованими лініями передачі та відбивного типу) на базі вимикачів, реалізованих за технологією мікроелектромеханічних систем (МЕМС) з електростатичною активацією. Під час розробки програмного забезпечення для синтезу електричних параметрів перемикачів та одноступінчастих фазообертачів використано методики, які забезпечують узгодження на вході, заданий фазовий дискрет, враховують вплив неодно- рідностей. За результатами комп’ютерного моделювання пристроїв з ємнісними та метал-контактними МЕМС вимикачами, ввімкненими паралельно чи послідовно в лінію передачі, зроблено деякі висновки про особливості застосування таких елементів у схемах фазообертачів.The results of computer design of two main types of microwave phase shifters (switched- lines and reflective type) based on electrostatically activated microelectro- mechanical system (MEMS) switches. The electrical parameters of single pole multi-throw switches and single-stage reflective phase shifters calculation methods which provide for input matching, prescribed phase difference and take into account branching discontinuity effect were used in software. Some conclusions about properties of devices with capacitive and metal-to-metal MEMS switches were made in the result of computer simulation.