Оптимізація фкнкції розгортки п'єзокерамічного перетворювача сканувального інтерферометра

Abstract

Змодельовано та реалізовано функцію розгортки п’єзокоректора сканувального інтерферометра Фабрі-Перо з великою лінійною ділянкою та малим коефіцієнтом гармонік. Експериментально досліджена точність інтерференційних вимірювань з використанням оптимізованої функції розгортки. The function scan of the piezoceramic transducer for scanning interferometer of Fabry-Perot with large linear range and low coefficient of the harmonic was modeled and realized. The accuracy of interference measurements with using the optimized function scan was experimental researched.