Плівкові сенсори для вимірювання температури і теплового потоку

Abstract

Розроблено мініатюрні сенсори температури і теплового потоку на основі тонких плівок AgCuSe (n-тип) і Ag0,4Cu1,6Se (p-тип), який забезпечує вимірювання температури в діапазоні 300…410 К і теплового потоку в діапазоні 10-10…103 Вт, інерційність сенсора 0,7–2,5 с. Miniature temperature and thermal flow sensors based on AgCuSe (n-type) and Ag0,4Cu1,6Se (p-type) thin films that provide the measurement of temperature in the range of 300…410 К and thermal flow in the range of 10-10…103 W, sensor inertiality of 0,7–2,5 s are elaborated.