Nanotechnology and nanoscaled materials for microsystems application
Loading...
Files
Date
2010
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
stages of formation and some perspective aspects of nanotechnology development, in particular, nanoelectronics, getting nanomaterials and microsystems device is analyzed in this report.
Description
Keywords
anoelectronics, synthesis Of Nanostructure, electronic and Ion Lithographic, thin Tapes, microsystems, resonators, piezoelectrics Device
Citation
Nanotechnology and nanoscaled materials for microsystems application / Georgiy Mladlenov, Elena Koleva, Yuriy Yakymenko, Viktor Spivak, Oleksandr Bogdan, Anatoliy Orlov // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 354–355. – Bibliography: 5 titles.