Nanotechnology and nanoscaled materials for microsystems application
| dc.contributor.author | Mladlenov, Georgiy | |
| dc.contributor.author | Koleva, Elena | |
| dc.contributor.author | Yakymenko, Yuriy | |
| dc.contributor.author | Spivak, Viktor | |
| dc.contributor.author | Bogdan, Oleksandr | |
| dc.contributor.author | Orlov, Anatoliy | |
| dc.date.accessioned | 2011-02-11T06:49:07Z | |
| dc.date.available | 2011-02-11T06:49:07Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.description.abstract | stages of formation and some perspective aspects of nanotechnology development, in particular, nanoelectronics, getting nanomaterials and microsystems device is analyzed in this report. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Nanotechnology and nanoscaled materials for microsystems application / Georgiy Mladlenov, Elena Koleva, Yuriy Yakymenko, Viktor Spivak, Oleksandr Bogdan, Anatoliy Orlov // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 354–355. – Bibliography: 5 titles. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7378 | |
| dc.language.iso | en | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | uk_UA |
| dc.subject | anoelectronics | uk_UA |
| dc.subject | synthesis Of Nanostructure | uk_UA |
| dc.subject | electronic and Ion Lithographic | uk_UA |
| dc.subject | thin Tapes | uk_UA |
| dc.subject | microsystems | uk_UA |
| dc.subject | resonators | uk_UA |
| dc.subject | piezoelectrics Device | uk_UA |
| dc.title | Nanotechnology and nanoscaled materials for microsystems application | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |