Модель мікроакселерометра ємнісного типу для автоматизованого проектування
No Thumbnail Available
Date
2006
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract
Розроблена модель акселерометра ємнісного типу. Наведено результати моделювання у вигляді залежностей ємності, максимального зміщення та напруження конструкції від прискорення та розподілу напружень конструкції інтегрального пристрою для матеріалів Si, SiO2, Si3N4. Зроблено висновки щодо використання матеріалів для проектування та виготовлення мікроакселерометрів.
Model of capacitive accelerometer is designed. Presented modeling results in the form of dependences of capacitance, maximal displacement and construction strain from the
acceleration and construction strain distribution of integral device for following materials: Si, SiO2, Si3N4. Drawn conclusions about using materials in microaccelerometers design and fabrication.
Description
Keywords
Citation
Теслюк В. М. Модель мікроакселерометра ємнісного типу для автоматизованого проектування / В. М. Теслюк, Р. В. Загарюк // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2006. – № 564 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 90–94. – Бібліографія: 18 назв.