Модель мікроакселерометра ємнісного типу для автоматизованого проектування

Abstract

Розроблена модель акселерометра ємнісного типу. Наведено результати моделювання у вигляді залежностей ємності, максимального зміщення та напруження конструкції від прискорення та розподілу напружень конструкції інтегрального пристрою для матеріалів Si, SiO2, Si3N4. Зроблено висновки щодо використання матеріалів для проектування та виготовлення мікроакселерометрів. Model of capacitive accelerometer is designed. Presented modeling results in the form of dependences of capacitance, maximal displacement and construction strain from the acceleration and construction strain distribution of integral device for following materials: Si, SiO2, Si3N4. Drawn conclusions about using materials in microaccelerometers design and fabrication.