Electrochemical aluminium oxide technology for production of electronics
Loading...
Date
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
The paper reviews the results of application of porous alumina formed using the electrochemical anodization process. Porous alumina is widely used in the microelectronics as a) anodized aluminum bases, b)systems of multilevel interconnections, c) aluminum packages for VLSIs and hybrid integrated circuits, d) thin-film temperature sensors, e) Al-based heating elements etc. Parameters of the structures with porous anodic alumina are summarized depending on the anodizing conditions.
Description
Keywords
aluminum, porous anodic alumina, electrochemical anodizing, multilevel interconnection, multicrystalline modules
Citation
Sokol V. Electrochemical aluminium oxide technology for production of electronics / V. Sokol, V. Shulgov // Оксидні матеріали електронної техніки – отримання, властивості, застосування (ОМЕЕ – 2012) : збірник матеріалів міжнародної наукової конференції, 3-7 вересня 2012 року, Львів, Україна / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 55–56. – Bibliography: 4 titles.