Electrochemical aluminium oxide technology for production of electronics

dc.contributor.authorSokol, V.
dc.contributor.authorShulgov, V.
dc.date.accessioned2012-10-10T13:04:35Z
dc.date.available2012-10-10T13:04:35Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractThe paper reviews the results of application of porous alumina formed using the electrochemical anodization process. Porous alumina is widely used in the microelectronics as a) anodized aluminum bases, b)systems of multilevel interconnections, c) aluminum packages for VLSIs and hybrid integrated circuits, d) thin-film temperature sensors, e) Al-based heating elements etc. Parameters of the structures with porous anodic alumina are summarized depending on the anodizing conditions.uk_UA
dc.identifier.citationSokol V. Electrochemical aluminium oxide technology for production of electronics / V. Sokol, V. Shulgov // Оксидні матеріали електронної техніки – отримання, властивості, застосування (ОМЕЕ – 2012) : збірник матеріалів міжнародної наукової конференції, 3-7 вересня 2012 року, Львів, Україна / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 55–56. – Bibliography: 4 titles.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/15142
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherВидавництво Львівської політехнікиuk_UA
dc.subjectaluminumuk_UA
dc.subjectporous anodic aluminauk_UA
dc.subjectelectrochemical anodizinguk_UA
dc.subjectmultilevel interconnectionuk_UA
dc.subjectmulticrystalline modulesuk_UA
dc.titleElectrochemical aluminium oxide technology for production of electronicsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
20_55_56_OMEE_2012.pdf
Size:
84.7 KB
Format:
Adobe Portable Document Format

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
2.06 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: