Мікроелектронний сенсор вологості

No Thumbnail Available

Date

2000

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”

Abstract

Розглянуто застосування композиційного матеріалу в сенсорах вологості ємнісного типу та в сенсорах на основі плівкових RC-структур. Рассмотрено применение композиционного материала в сенсорах влажности емкостного типа и в сенсорах на основе пленочных RC-структур. The questions of application of offered composition material in humidity capacity type sensors and in sensors based on pellicle RC-structures are considered.

Description

Keywords

Citation

Мікроелектронний сенсор вологості / Зенон Готра, Віталій Григор’єв, Олег Мельник, Аліція Беднарчик, Данута Прошак // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник / Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор Б. І. Стадник. – Львів : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2000. – Випуск 57. – С. 77–80. – Бібліографія: 3 назви.