Мікроелектронний сенсор вологості
Loading...
Files
Date
2000
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”
Abstract
Розглянуто застосування композиційного матеріалу в сенсорах вологості ємнісного
типу та в сенсорах на основі плівкових RC-структур. Рассмотрено применение композиционного материала в сенсорах влажности емкостного типа и в сенсорах на основе пленочных RC-структур. The questions of application of offered composition material in humidity capacity type sensors and in sensors based on pellicle RC-structures are considered.
Description
Keywords
Citation
Мікроелектронний сенсор вологості / Зенон Готра, Віталій Григор’єв, Олег Мельник, Аліція Беднарчик, Данута Прошак // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник / Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор Б. І. Стадник. – Львів : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2000. – Випуск 57. – С. 77–80. – Бібліографія: 3 назви.