Multilayered sensor structures for intelligent conlrol systems

Abstract

A multifunctional sensor system using multilayered thick-film sensor structures based on spinel-type NiMn2O4-CuMn2O4-MnCo2O4 manganites and magnesium aluminate MgAl2O4 has been developed. The technological peculiarities of making nanostructured sensors have been represented. The circuit diagram of the monitoring system using nanostructured sensors and a microprocessor for signal processing has been proposed. This system can be successfully applied for intelligent monitoring and controlling environment. Одержано мультишарові сенсорні товстоплівкові структури на основі шпінельної кераміки. Розглянуто технологічні особливості одержання наноструктурованих сенсорів. Показано можливість успішного використання одержаних сенсорних структур в інтелектуальних системах моніторингу та контролю.