Визначення оптимальних конструктивних параметрів МЕМС гіроскопа залежно від його технічних характеристик

Abstract

Розроблено методику проектування підвісу робочого органа МЕМС гіроскопа, а саме конструктивних розмірів пружин залежно від необхідних параметрів гіроскопа, такі, як товщина, ширина пружин та їх довжина, а отже, габаритні розміри гіроскопа. Завдяки цій методиці створено підсистему автоматизованого проектування системи пружного підвісу МЕМС гіроскопа. In this work, design technique of the working organ suspension of MEMS gyroscope, that is springs dimensions depending on the required gyroscope performance, such as the thickness and the width of the springs and their length, hence the overall dimensions of the gyroscope, is developed. The created technique allows to create computer-aided design subsystem of the spring elements of the MEMS gyroscope.