Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon
No Thumbnail Available
Files
Date
2010
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
This paper presents an alternative design solution for a piezoelectric sensor based on two plates separated by a polysilicon solid body.
Description
Keywords
MEMS, accelerometer, piezoelectric effect, FEM, ANSYS
Citation
Kushnir Y. Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon / Y. Kushnir, M. Lobur // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 51. – Bibliography: 1 title.