Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon
| dc.contributor.author | Kushnir, Yurij | |
| dc.contributor.author | Lobur, Mykhaylo | |
| dc.date.accessioned | 2010-10-04T07:14:43Z | |
| dc.date.available | 2010-10-04T07:14:43Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.description.abstract | This paper presents an alternative design solution for a piezoelectric sensor based on two plates separated by a polysilicon solid body. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Kushnir Y. Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon / Y. Kushnir, M. Lobur // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 51. – Bibliography: 1 title. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/6198 | |
| dc.language.iso | en | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | uk_UA |
| dc.subject | MEMS | uk_UA |
| dc.subject | accelerometer | uk_UA |
| dc.subject | piezoelectric effect | uk_UA |
| dc.subject | FEM | uk_UA |
| dc.subject | ANSYS | uk_UA |
| dc.title | Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |