Special feature of forming solid planar diffusion a source for submicron structure
Loading...
Files
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Solid planar diffusion a source for forming
submicron structure VLSI are given in this paper.
Description
Keywords
Citation
Berezhansky V. Special feature of forming solid planar diffusion a source for submicron structure / Volodymyr Berezhansky // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 364. – Bibliography: 2 titles.