Нанострукторовані мульти-функціональні сенсорні елементи як складові кібер-фізичних систем

Abstract

Одержано та досліджено мульти-функціональні температурно- та волого-чутливі наноструктурно-оптимізовані сенсорні елементи в об’ємному та товстоплівковому виконанні для застосування в якості компонент кібер-фізичних систем. Спроектовано прототип системи контролю та реєстрації мікрокліматичних параметрів середовища з використанням розроблених наноструктурованих сенсорних елементів. The multifunctional temperature- and humidity-sensitive nanostructured and optimized sensor elements in bulk and thick-film performance were prepared and studied for application as components of cyber-physical systems. The prototype of system for control and registration of microclimate environmental parameters with use of the developed nanostructured sensor elements was proposed.