Математична модель магнітного інтегрального мікросенсора
| dc.citation.epage | 129 | |
| dc.citation.issue | 548 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика | |
| dc.citation.journalTitle | Вісник Національного університету “Львівська політехніка” | |
| dc.citation.spage | 125 | |
| dc.contributor.affiliation | Національний університет “Львівська політехніка” | |
| dc.contributor.author | Теслюк, В. М. | |
| dc.contributor.author | Колесник, К. К. | |
| dc.contributor.author | Раєвський, П. Ю. | |
| dc.contributor.author | Панчак, Р. Т. | |
| dc.coverage.placename | Львів | |
| dc.coverage.placename | Lviv | |
| dc.date.accessioned | 2020-03-12T10:25:55Z | |
| dc.date.available | 2020-03-12T10:25:55Z | |
| dc.date.created | 2005-03-01 | |
| dc.date.issued | 2005-03-01 | |
| dc.description.abstract | Розроблено математичну модель інтегрального магнітного мікросенсора. Проаналізовано напружено-деформований стан мікропристрою та наведено результати моделювання. | |
| dc.description.abstract | Mathematical model for integrated magnetic microsensor is designed. Strain-deformationanalysis of micro device was held and results of modeling are presented. | |
| dc.format.extent | 125-129 | |
| dc.format.pages | 5 | |
| dc.identifier.citation | Математична модель магнітного інтегрального мікросенсора / В. М. Теслюк, К. К. Колесник, П. Ю. Раєвський, Р. Т. Панчак // Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. — Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2005. — № 548 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. — С. 125–129. | |
| dc.identifier.citationen | Matematychna model mahnitnoho intehralnoho mikrosensora / V. M. Tesliuk, K. K. Kolesnyk, P. Yu. Raievskyi, R. T. Panchak // Visnyk Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika". — Lviv : Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika", 2005. — No 548 : Kompiuterni systemy proektuvannia. Teoriia i praktyka. — P. 125–129. | |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/47255 | |
| dc.language.iso | uk | |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету “Львівська політехніка” | |
| dc.relation.ispartof | Вісник Національного університету “Львівська політехніка”, 548 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика, 2005 | |
| dc.relation.references | 1. Maluf, Nadim An introduction to microelectromechanical system egineering//Library of Congress Cataloging-in-Publication Data. | |
| dc.relation.references | 2. Петренко А.И., Семенков А.И. Основы построения систем автоматизированого проэктирования, – К.: Вища школа, 1984. – 296 с. | |
| dc.relation.references | 3. Петренко А.И. Основы автоматизации проєктирования. – К.: Техніка, 1982. – 295 с. | |
| dc.relation.references | 4. Лобур М.В. Проектування мікро-електромеханічних структур для вбудованих систем з використанням сучасних САПР. // Електро- енергетичні та електромеханічні системи. Вісник НУ “Львівська політехніка”, № 479, 2003, – с. 121 – 125. | |
| dc.relation.references | 5. Guckel, H, (1998). ‘Progress in Magnetic microactuators,’ Microsys. Technol., 5, 59–61. | |
| dc.relation.references | 6. Галушков А.А., Чаплыгин Ю.А. Микроэлектронные матричные преобразователи магнитных полей на основе магнитотранзисторов. // Датчики и преобразователи информации систем измере- ния, контроля и управления. VIII научно-техническая конференция. Тезисы докладов. Гурзуф. Май. 1996. – С. 210-211. | |
| dc.relation.references | 7. T. Hirano, L. S. Fan, and J. Q. Gao, “Invar MEMS milliactuator for hard disk drive applications,” in 10th IEEE Workshop Micro Electromech. Syst., Nagoya, Japan, 1997, – pp. 378–382. | |
| dc.relation.references | 8. Васильева Н.П., Касаткин С.И., Муравьев А.М. Тонкопленочные магниторезистивные датчики магнитного поля и области их применения // Датчики и системы. 1999. N1. – с. 29-36. | |
| dc.relation.references | 9. C. Liu, T. Tsai, Y.-C. Tai, W. Liu, P. Will, and C.-M. Ho, “A micromachined permalloy magnetic actuator array for micro robotics assembly systems,” in Transducers ’95 Dig. 8th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators/Eurosensors IX, vol. 1, Stockholm, Sweden, June 1995, – pp. 328–331. | |
| dc.relation.references | 10. Савельев И.В. Курс общей физики: Учеб. пособие: для вузов. В 5 кн. Кн.2. Электричество и магнетизм – 4-е изд., перераб.– М.: Наука, Физматлит, 1998, С. 9–30, 41-71. | |
| dc.relation.references | 11. Трофимова Т.И. Курс физики: Учеб. Пособие для вузов. – 5-е изд., стер.– М.: Высш. шк., 1998, – с. 148–164. | |
| dc.relation.references | 12. Детлаф А.А., Яворский Б.М. Курс физики: Учеб. пособие для вузов.– 2-е изд., испр. и доп. – М.: Высш. шк., 1999, сс. 182–190, 193–202. | |
| dc.relation.references | 13. Иродов И.Е. Электромагнетизм. Основные законы. – 3-е изд., испр. – М.: Лаборатория базовых знаний, 2000, – с. 6–34. | |
| dc.relation.references | 14. Киреев П.С. Физика полупроводников: Учеб. пособие для втузов. – М. Высшая школа, 1969. | |
| dc.relation.references | 15. Campbell S.A. and Lewerenz H.J. Semicondutor Micromachinihg. Techniques and Industrial Applications, Vol. 2, John Wiley & Sons. 8. T. Ikeda, “Fundamentals of Piezoelectricity,” Oxford Science Publications, New York NY (1996). | |
| dc.relation.references | 16. Клокова Н.П. П’єзорезисторы: Теория, методики расчета, разработки. – М.: Машиностроение, 1990. – 224 с. | |
| dc.relation.references | 17. Зенкевич О. Метод конечных элементов в механике. – М.: Мир, 1975. – 524 с. | |
| dc.relation.references | 18. Тихонов А.Н., Самарский А.А. Уравнения математической физики. – М.: Наука, 1966. – 724с. | |
| dc.relation.references | 19. Самарский А.А., Николаев Е.С. Методы решения сеточных уравнений. – М.: Наука. 1978.– 592 с. | |
| dc.relation.referencesen | 1. Maluf, Nadim An introduction to microelectromechanical system egineering//Library of Congress Cataloging-in-Publication Data. | |
| dc.relation.referencesen | 2. Petrenko A.I., Semenkov A.I. Osnovy postroeniia sistem avtomatizirovanoho proektirovaniia, K., Vishcha shkola, 1984, 296 p. | |
| dc.relation.referencesen | 3. Petrenko A.Y. Osnovy avtomatyzatsyy proiektyrovanyia, K., Tekhnika, 1982, 295 p. | |
| dc.relation.referencesen | 4. Lobur M.V. Proektuvannia mikro-elektromekhanichnykh struktur dlia vbudovanykh system z vykorystanniam suchasnykh SAPR., Elektro- enerhetychni ta elektromekhanichni systemy. Visnyk NU "Lvivska politekhnika", No 479, 2003, P. 121 – 125. | |
| dc.relation.referencesen | 5. Guckel, H, (1998). ‘Progress in Magnetic microactuators,’ Microsys. Technol., 5, 59–61. | |
| dc.relation.referencesen | 6. Halushkov A.A., Chaplyhin Iu.A. Mikroelektronnye matrichnye preobrazovateli mahnitnykh polei na osnove mahnitotranzistorov., Datchiki i preobrazovateli informatsii sistem izmere- niia, kontrolia i upravleniia. VIII nauchno-tekhnicheskaia konferentsiia. Tezisy dokladov. Hurzuf. Mai. 1996, P. 210-211. | |
| dc.relation.referencesen | 7. T. Hirano, L. S. Fan, and J. Q. Gao, "Invar MEMS milliactuator for hard disk drive applications," in 10th IEEE Workshop Micro Electromech. Syst., Nagoya, Japan, 1997, pp. 378–382. | |
| dc.relation.referencesen | 8. Vasileva N.P., Kasatkin S.I., Muravev A.M. Tonkoplenochnye mahnitorezistivnye datchiki mahnitnoho polia i oblasti ikh primeneniia, Datchiki i sistemy. 1999. N1, P. 29-36. | |
| dc.relation.referencesen | 9. C. Liu, T. Tsai, Y.-C. Tai, W. Liu, P. Will, and C.-M. Ho, "A micromachined permalloy magnetic actuator array for micro robotics assembly systems," in Transducers ’95 Dig. 8th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators/Eurosensors IX, vol. 1, Stockholm, Sweden, June 1995, pp. 328–331. | |
| dc.relation.referencesen | 10. Savelev I.V. Kurs obshchei fiziki: Ucheb. posobie: dlia vuzov. V 5 kn. Kn.2. Elektrichestvo i mahnetizm – 4-e izd., pererab, M., Nauka, Fizmatlit, 1998, P. 9–30, 41-71. | |
| dc.relation.referencesen | 11. Trofimova T.I. Kurs fiziki: Ucheb. Posobie dlia vuzov, 5-e izd., ster, M., Vyssh. shk., 1998, P. 148–164. | |
| dc.relation.referencesen | 12. Detlaf A.A., Iavorskii B.M. Kurs fiziki: Ucheb. posobie dlia vuzov, 2-e izd., ispr. i dop, M., Vyssh. shk., 1999, ss. 182–190, 193–202. | |
| dc.relation.referencesen | 13. Irodov I.E. Elektromahnetizm. Osnovnye zakony, 3-e izd., ispr, M., Laboratoriia bazovykh znanii, 2000, P. 6–34. | |
| dc.relation.referencesen | 14. Kireev P.S. Fizika poluprovodnikov: Ucheb. posobie dlia vtuzov, M. Vysshaia shkola, 1969. | |
| dc.relation.referencesen | 15. Campbell S.A. and Lewerenz H.J. Semicondutor Micromachinihg. Techniques and Industrial Applications, Vol. 2, John Wiley & Sons. 8. T. Ikeda, "Fundamentals of Piezoelectricity," Oxford Science Publications, New York NY (1996). | |
| dc.relation.referencesen | 16. Klokova N.P. P’yezorezistory: Teoriia, metodiki rascheta, razrabotki, M., Mashinostroenie, 1990, 224 p. | |
| dc.relation.referencesen | 17. Zenkevich O. Metod konechnykh elementov v mekhanike, M., Mir, 1975, 524 p. | |
| dc.relation.referencesen | 18. Tikhonov A.N., Samarskii A.A. Uravneniia matematicheskoi fiziki, M., Nauka, 1966, 724p. | |
| dc.relation.referencesen | 19. Samarskii A.A., Nikolaev E.S. Metody resheniia setochnykh uravnenii, M., Nauka. 1978, 592 p. | |
| dc.rights.holder | © Національний університет “Львівська політехніка”, 2005 | |
| dc.rights.holder | © Теслюк В. М., Колесник К. К., Раєвський П. Ю., Панчак Р. Т., 2005 | |
| dc.subject.udc | 621.3.049.77.017 | |
| dc.title | Математична модель магнітного інтегрального мікросенсора | |
| dc.type | Article |
Files
License bundle
1 - 1 of 1