Технологія контролю геометрії оптичних поверхонь зразків із кристалічних матеріалів

Abstract

На основі інтерферометра Маха-Цендера запропоновано технологію контролю геометрії поверхонь та оптичної неоднорідності зразків із кристалічних матеріалів. Ця технологія дає змогу проводити якісний і кількісний контроль геометрії оптичної поверхні кристалічного зразка, визначити величину клинеподібності протилежних граней та характер спотворень по всій апертурі хвильового фронту лазерного променя, що пройшов через досліджуваний зразок. Using Mach-Zehnder interferometer the technology for control of surface geometry and optical heterogeneity of crystal materials samples is proposed. This technology allows to carry out qualitative and quantitative control of optical surface geometry for crystal samples, to determine the value of opposite face wedging and wavefront aberration over the whole aperture for laser beam, which pass through the investigated sample.