До теорії дисторсійних спотворень РЕМ-зображень
Loading...
Date
2007
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
В статье рассматриваются искажения РЭМ-изображений, обусловленные несовершенством процесса сканирования электронным зондом поверхности микрообъектов. Предложены теоретические основы двух методов учета подобных искажений.
In the article, a deformation of REM-image, determined by imperfect scanning process of microobjects surface by scanned probe are considered. The theoretical bases if two methods regarding of similar deformation are proposed.
Description
Keywords
Citation
Мельник В. До теорії дисторсійних спотворень РЕМ-зображень / В. Мельник, А. Шостак // Геодезія, картографія і аерофотознімання : міжвідомчий науково-технічний збірник / Міністерство освіти і науки України, Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор К. Р. Третяк. – Львів : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2007. – Випуск 68. – С. 261–268. – Бібліографія: 13 назв.