Modeling MEMS membranes characteristics

Abstract

Description

Keywords

Citation

Modeling MEMS membranes characteristics / Igor Nevliudov, Viktoriia Bortnikova, Olena Chala, Svitlana Maksymova // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 61–68.