Modeling MEMS membranes characteristics

Simple item page
dc.citation.conferenceXXVI Міжнародна українсько-польська науково-технічна конференція “САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання”
dc.citation.epage68
dc.citation.journalTitleСАПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції
dc.citation.spage61
dc.contributor.affiliationKharkiv National University of Radio Electronics
dc.contributor.authorNevliudov, Igor
dc.contributor.authorBortnikova, Viktoriia
dc.contributor.authorChala, Olena
dc.contributor.authorMaksymova, Svitlana
dc.coverage.placenameЛьвів
dc.coverage.temporal19-20 жовтня 2018 року, Львів
dc.date.accessioned2019-06-24T14:06:58Z
dc.date.available2019-06-24T14:06:58Z
dc.date.created2018-10-19
dc.date.issued2018-10-19
dc.format.extent61-68
dc.format.pages8
dc.identifier.citationModeling MEMS membranes characteristics / Igor Nevliudov, Viktoriia Bortnikova, Olena Chala, Svitlana Maksymova // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 61–68.
dc.identifier.citationenModeling MEMS membranes characteristics / Igor Nevliudov, Viktoriia Bortnikova, Olena Chala, Svitlana Maksymova // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 61–68.
dc.identifier.isbn978-966-941-229-4
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45219
dc.language.isoen
dc.publisherВидавництво Львівської політехніки
dc.relation.ispartofСАПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 2018
dc.relation.references[1] J. Iannacci, Introduction to MEMS and RF-MEMS: From the early days of microsystems to modern RF-MEMS passives. iopscience.iop.org, 2017. Available at: http://iopscience.iop.org/book/978-0-7503-1545-6/chapter/bk978-0-7503-1545-6ch1#back-to-top-target (accessed 5 February 2017).
dc.relation.references[2] L.V. Belov, Perekljuchateli sverhvysokochastotnyh signalov. Moskva:Tehnosphera, 2007, p. 20-25
dc.relation.references[3] A.A. Bennet, "Newton's method in general analysis" in Proc. Nat. Ac. Sci. USA. 2 (10), 1916, pp. 592-598.
dc.relation.references[4] C.L. Dai, H.M. Hsu, M.C. Tsai, M.M. Hsieh, M.W. Chang, "Modeling and fabrication of a microelectromechanical microwave switch" in Microelectron. pp. 519-524, 2007.
dc.relation.references[5] Muldavin J.B., Rebeiz G.M. "High isolation CPW MEMS shunt switches, Part 2" in Design, IEEE Trans. Microwave Theory Tech, 2000,pp. 1053-1056.
dc.relation.references[6] V. K. Varadan, K.J. Vinoy, K.A. Jose "RF MEMS and Their Applications" Pennsylvania State University, USA, p. 408, 2003.
dc.relation.references[7]. Dalsjø, Per Gisle. Modeling of a resisitive contact RF-MEMS switch fabricated using DRIE. Masteroppgave, University of Oslo, 2006.
dc.relation.references[8] A.I. Belous, M.K. Merdanov, S.V. Shvedov SVCh-jelektronika v sistemah radiolokacii i svjazi. Tehnicheskaja jenciklopedija. Kniga 2 Moskva:Tehnosphera, 2016, p. 728.
dc.relation.references[9] J.N. Goodier, S. P. Timoshenko, Theory of Elasticity. McGraw-Hill Education, 1970, p. 608.
dc.relation.references[10] I. Nevliudov, V. Bortnikova, M. Fedchishina, "Udoskonalennja harakterystyk serpantynnoi" MEMS membrany vysokochastotnogo peremykacha" in I Int. Conf. Manufacturing & Mechatronic systems, Kharkiv, Ukrain, Oct.2017, pp. 35-39.
dc.relation.references[11] YU. V. Solov'yev, V. V. Volkov, S. Ye. Aleksandpov, A. B. Speshilova MEMS-pereklyuchatel' rezistivno-yemkostnogo tipa. Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, Moskva, Nauka, 2007.
dc.relation.references[12] K. Nam-Ho, Introduction to Nonlinear Finite Element Analysis Springer, 2014.
dc.relation.references[13] I. Nevliudov, V. Bortnikova, N. Demska "Чисельне моделювання МЕМС мембрани за допомогою метода Ньютона-Рафсона" in V Mizhnarodna naukovo-praktychna konferencija Napivprovidnykovi materialy, informacijni tehnologii' ta fotovol'tai'ka, Kremenchuk, Ukraine, May, 2018, pp. 119-121.
dc.relation.referencesen[1] J. Iannacci, Introduction to MEMS and RF-MEMS: From the early days of microsystems to modern RF-MEMS passives. iopscience.iop.org, 2017. Available at: http://iopscience.iop.org/book/978-0-7503-1545-6/chapter/bk978-0-7503-1545-6ch1#back-to-top-target (accessed 5 February 2017).
dc.relation.referencesen[2] L.V. Belov, Perekljuchateli sverhvysokochastotnyh signalov. Moskva:Tehnosphera, 2007, p. 20-25
dc.relation.referencesen[3] A.A. Bennet, "Newton's method in general analysis" in Proc. Nat. Ac. Sci. USA. 2 (10), 1916, pp. 592-598.
dc.relation.referencesen[4] C.L. Dai, H.M. Hsu, M.C. Tsai, M.M. Hsieh, M.W. Chang, "Modeling and fabrication of a microelectromechanical microwave switch" in Microelectron. pp. 519-524, 2007.
dc.relation.referencesen[5] Muldavin J.B., Rebeiz G.M. "High isolation CPW MEMS shunt switches, Part 2" in Design, IEEE Trans. Microwave Theory Tech, 2000,pp. 1053-1056.
dc.relation.referencesen[6] V. K. Varadan, K.J. Vinoy, K.A. Jose "RF MEMS and Their Applications" Pennsylvania State University, USA, p. 408, 2003.
dc.relation.referencesen[7]. Dalsjø, Per Gisle. Modeling of a resisitive contact RF-MEMS switch fabricated using DRIE. Masteroppgave, University of Oslo, 2006.
dc.relation.referencesen[8] A.I. Belous, M.K. Merdanov, S.V. Shvedov SVCh-jelektronika v sistemah radiolokacii i svjazi. Tehnicheskaja jenciklopedija. Kniga 2 Moskva:Tehnosphera, 2016, p. 728.
dc.relation.referencesen[9] J.N. Goodier, S. P. Timoshenko, Theory of Elasticity. McGraw-Hill Education, 1970, p. 608.
dc.relation.referencesen[10] I. Nevliudov, V. Bortnikova, M. Fedchishina, "Udoskonalennja harakterystyk serpantynnoi" MEMS membrany vysokochastotnogo peremykacha" in I Int. Conf. Manufacturing & Mechatronic systems, Kharkiv, Ukrain, Oct.2017, pp. 35-39.
dc.relation.referencesen[11] YU. V. Solov'yev, V. V. Volkov, S. Ye. Aleksandpov, A. B. Speshilova MEMS-pereklyuchatel' rezistivno-yemkostnogo tipa. Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, Moskva, Nauka, 2007.
dc.relation.referencesen[12] K. Nam-Ho, Introduction to Nonlinear Finite Element Analysis Springer, 2014.
dc.relation.referencesen[13] I. Nevliudov, V. Bortnikova, N. Demska "Chiselne modeliuvannia MEMS membrani za dopomohoiu metoda Niutona-Rafsona" in V Mizhnarodna naukovo-praktychna konferencija Napivprovidnykovi materialy, informacijni tehnologii' ta fotovol'tai'ka, Kremenchuk, Ukraine, May, 2018, pp. 119-121.
dc.relation.urihttp://iopscience.iop.org/book/978-0-7503-1545-6/chapter/bk978-0-7503-1545-6ch1#back-to-top-target
dc.rights.holder© Національний університет «Львівська політехніка», 2018
dc.titleModeling MEMS membranes characteristics
dc.typeConference Abstract

Files

Original bundle

Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
2018_Nevliudov_I-Modeling_MEMS_membranes_61-68.pdf
Size:
1.67 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download
Thumbnail Image
Name:
2018_Nevliudov_I-Modeling_MEMS_membranes_61-68__COVER.png
Size:
975.85 KB
Format:
Portable Network Graphics
Download

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
3 KB
Format:
Plain Text
Description:
Download

Collections

САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання. – 2018 р.