Математичні моделі керуючих пристроїв МЕМС

Abstract

В даній статті розглянуто МЕМС актюатори різних типів (електростатичні, магнітні, п’єзоелектричні, термоактюатори). Розглянуто особливості їх конструкцій. Проаналізовано способи побудови математичних моделей цих актюаторів та можливості їх застосування при проектуванні складних технічних систем із застосуванням таких актюаторів. Наведено приклад розрахунку характеристики індуктивності наносоленоїда, який є складовою частиною електромагнітного актюатора.This article discusses MEMS actuators of various types (electrostatic, magnetic, piezoelectric, thermal actuators). The features of their designs are considered. Methods for constructing mathematical models of these actuators and possibilities of their application in the design of complex technical systems using such actuators are analyzed. An example of calculating the characteristic of the inductance of a nano-solenoid, which is a component of an electromagnetic actuator, is provided.