Розроблення та аналіз структурних схем МЕМС

Abstract

Наведено результати аналізу основних існуючих структурних схем мікроелект- ромеханічних систем (МЕМС), визначено області їх використання, переваги і недоліки. На основі аналізу сучасного стану та тенденцій розвитку науково-прикладної області МЕМС розроблено нові структурні схеми з поліпшеними параметрами швидкодії на основі реалізації багатьох функцій в апаратний спосіб та використання розподіленого оброблення інформації від мікродавачів. Побудовано структурні схеми МЕМС для реалізації інтегральних пристроїв типу “мікролабораторія на кристалі”, “розумний порох”, “розумних структур” і “розумних поверхонь”. The results of analysis of basic existent structural diagrams of the micromechanical systems (MEMS) are presented in the article. The domains of their usage, advantages and failings are resulted. On the basis of analysis of the modern state and progress trends of scientifically-application area of MEMS the new structural diagrams are developed with the improved parameters of velocity on the basis of realization of functions with hardware and usage of the distributed processing of information from microsensors. Built structural diagrams of MEMS for realization of integral devices of “microlab on the chip”, “wise dust”, “wise structures” and “wise surfaces”.