Applying comsol multiphysics for research and development of capacitive pressure sensor
No Thumbnail Available
Date
2015
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Спроектовано та досліджено моделі давача тиску ємнісного типу в середовищі
Comsol. Застосовано алгоритм побудови моделі за допомогою пакета Comsol. Article contains design and researching of capacitive pressure sensor's model in the Comsol environment. Model constructing algorithm applied by using Comsol package.
Description
Keywords
ємнісний давач тиску, конденсатор, чутливий елемент, COMSOL Multiphysics, система автоматизованого проектування, МЕМС –мікроелектромеханічні системи, capacitive pressure sensor, capacitor, sensor, COMSOL Multiphysics, сomputeraided design, MEMS – Microelectromechanical systems
Citation
Marikutsa U. Applying comsol multiphysics for research and development of capacitive pressure sensor / U. Marikutsa, О. Narushynska, A. Medvid // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Комп’ютерні системи проектування теорія і практика : збірник наукових праць. – 2015. – № 828. – С. 62–65. – Bibliography: 7 titles.