Applying comsol multiphysics for research and development of capacitive pressure sensor

Loading...
Thumbnail Image

Date

2015

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Львівської політехніки

Abstract

Спроектовано та досліджено моделі давача тиску ємнісного типу в середовищі Comsol. Застосовано алгоритм побудови моделі за допомогою пакета Comsol. Article contains design and researching of capacitive pressure sensor's model in the Comsol environment. Model constructing algorithm applied by using Comsol package.

Description

Keywords

ємнісний давач тиску, конденсатор, чутливий елемент, COMSOL Multiphysics, система автоматизованого проектування, МЕМС –мікроелектромеханічні системи, capacitive pressure sensor, capacitor, sensor, COMSOL Multiphysics, сomputeraided design, MEMS – Microelectromechanical systems

Citation

Marikutsa U. Applying comsol multiphysics for research and development of capacitive pressure sensor / U. Marikutsa, О. Narushynska, A. Medvid // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Комп’ютерні системи проектування теорія і практика : збірник наукових праць. – 2015. – № 828. – С. 62–65. – Bibliography: 7 titles.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By