Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах
| dc.contributor.author | Матвійків, М. Д. | |
| dc.contributor.author | Лобур, М. В. | |
| dc.contributor.author | Теслюк, В. М. | |
| dc.contributor.author | Матвійків, Т. М. | |
| dc.date.accessioned | 2015-12-21T13:43:44Z | |
| dc.date.available | 2015-12-21T13:43:44Z | |
| dc.date.issued | 2006 | |
| dc.description.abstract | Проаналізовано доцільність побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем (МЕМСів) на активних напівпровідникових елементах–діодах та транзисторах. Analyzed expediency the structure of the microelectromechanical systems (MEMS) sensors on the active semiconductors - diodes and the transistors. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах / М. Д. Матвійків, М. В. Лобур, В. М. Теслюк, Т. М. Матвійків // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2006. – № 557 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 20–24. – Бібліографія: 3 назви. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/30730 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету "Львівська політехніка" | uk_UA |
| dc.title | Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |