Методологічні основи синтезу багатовимірних систем керування технологічним процесом підготовки напівпровідникових підкладок
Loading...
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
КІНПАТРІ ЛТД
Abstract
The purpose of this paper is to solve the problems associated with the development methodology of
synthesis of adaptive control systems of nonlinear dynamic objects cutting ingots semiconductor and other functional materials for the preparation of thin plate substrates for micro- and nanoelectronic devices that operate in uncertainty.
Description
Keywords
Citation
Бубліченко С. Методологічні основи синтезу багатовимірних систем керування технологічним процесом підготовки напівпровідникових підкладок / Сергій Бубліченко // 11-й міжнародний симпозіум українських інженерів-механіків у Львові : тези доповідей,15–17 травня 2013 року, Львів / Національний університет «Львівська політехніка» [та інші]. – Львів : КІНПАТРІ ЛТД, 2013. – С. 156.