Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки
dc.contributor.affiliation | Національний університет «Львівська політехніка» | uk_UA |
dc.contributor.author | Дружинін, Анатолій Олександрович | |
dc.contributor.author | Когут, Ігор Тимофійович | |
dc.contributor.author | Ховерко, Юрій Миколайович | |
dc.coverage.country | UA | uk_UA |
dc.coverage.placename | Львів | uk_UA |
dc.date.accessioned | 2019-10-25T10:50:02Z | |
dc.date.available | 2019-10-25T10:50:02Z | |
dc.date.issued | 2013 | |
dc.description.abstract | Проаналізовано сучасні методи отримання структур кремній-на-ізоляторі. Наведено результати комплексного дослідження електропровідності, магнітоопору, п’єзоопору полікристалічного кремнію на напівпровідникових підкладках у широкому інтервалі температур, за впливу сильних магнітних полів і деформацій, що використано для створення сенсорів механічних і теплових величин на їх основі. Визначено конструктивні особливості для інтеграції різних типів сенсорів на одному кристалі під час створення мікросистем, а також методи покращання вимірювальних характеристик сенсорів механічних і теплових величин на основі полікремнієвих шарів у структурах кремній-на-ізоляторі. Призначено для наукових та інженерно-технічних працівників та студентів, які навчаються за напрямом “Мікро- та наноелектроніка”, а також широкого загалу спеціалістів у галузі сенсорної електроніки та мікроелектроніки. | uk_UA |
dc.format.pages | 232 | |
dc.identifier.citation | Дружинін А. О. Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки : монографія / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, Ю. М. Ховерко. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – 232 с. | uk_UA |
dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45467 | |
dc.language.iso | uk | uk_UA |
dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | uk_UA |
dc.rights.holder | Дружинін А.О., Когут І.Т., Ховерко Ю.М., 2013 | uk_UA |
dc.rights.holder | Національний університет “Львівська політехніка”, 2013 | uk_UA |
dc.subject.udc | 621.315.592 | uk_UA |
dc.title | Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки | uk_UA |
dc.type | Monograph | uk_UA |
Files
License bundle
1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
- Name:
- license.txt
- Size:
- 2.99 KB
- Format:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Description: