Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки

Simple item page
dc.contributor.affiliationНаціональний університет «Львівська політехніка»uk_UA
dc.contributor.authorДружинін, Анатолій Олександрович
dc.contributor.authorКогут, Ігор Тимофійович
dc.contributor.authorХоверко, Юрій Миколайович
dc.coverage.countryUAuk_UA
dc.coverage.placenameЛьвівuk_UA
dc.date.accessioned2019-10-25T10:50:02Z
dc.date.available2019-10-25T10:50:02Z
dc.date.issued2013
dc.description.abstractПроаналізовано сучасні методи отримання структур кремній-на-ізоляторі. Наведено результати комплексного дослідження електропровідності, магнітоопору, п’єзоопору полікристалічного кремнію на напівпровідникових підкладках у широкому інтервалі температур, за впливу сильних магнітних полів і деформацій, що використано для створення сенсорів механічних і теплових величин на їх основі. Визначено конструктивні особливості для інтеграції різних типів сенсорів на одному кристалі під час створення мікросистем, а також методи покращання вимірювальних характеристик сенсорів механічних і теплових величин на основі полікремнієвих шарів у структурах кремній-на-ізоляторі. Призначено для наукових та інженерно-технічних працівників та студентів, які навчаються за напрямом “Мікро- та наноелектроніка”, а також широкого загалу спеціалістів у галузі сенсорної електроніки та мікроелектроніки.uk_UA
dc.format.pages232
dc.identifier.citationДружинін А. О. Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки : монографія / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, Ю. М. Ховерко. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – 232 с.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45467
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherВидавництво Львівської політехнікиuk_UA
dc.rights.holder Дружинін А.О., Когут І.Т., Ховерко Ю.М., 2013uk_UA
dc.rights.holder Національний університет “Львівська політехніка”, 2013uk_UA
dc.subject.udc621.315.592uk_UA
dc.titleСтруктури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електронікиuk_UA
dc.typeMonographuk_UA

Files

License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
2.99 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download

Collections

Підручники, посібники, монографії