Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки

No Thumbnail Available

Date

2013

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Львівської політехніки

Abstract

Проаналізовано сучасні методи отримання структур кремній-на-ізоляторі. Наведено результати комплексного дослідження електропровідності, магнітоопору, п’єзоопору полікристалічного кремнію на напівпровідникових підкладках у широкому інтервалі температур, за впливу сильних магнітних полів і деформацій, що використано для створення сенсорів механічних і теплових величин на їх основі. Визначено конструктивні особливості для інтеграції різних типів сенсорів на одному кристалі під час створення мікросистем, а також методи покращання вимірювальних характеристик сенсорів механічних і теплових величин на основі полікремнієвих шарів у структурах кремній-на-ізоляторі. Призначено для наукових та інженерно-технічних працівників та студентів, які навчаються за напрямом “Мікро- та наноелектроніка”, а також широкого загалу спеціалістів у галузі сенсорної електроніки та мікроелектроніки.

Description

Keywords

Citation

Дружинін А. О. Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки : монографія / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, Ю. М. Ховерко. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – 232 с.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By