Розробка моделей та структурної схеми для автоматизованого багаторівневого проектування МЕМС

Abstract

Запропоновано структуру системи для автоматизованого проектування мікроелектромеханічних систем (МЕМС), яка включає: підсистему моделювання технологічних маршрутів виготовлення інтегральних схем (ІС) та МЕМС – «ПроМІС-Т (МЕМС)», підсистему твердотільного (ПроМІП-Тв), функціонального (ПроМІП-Ф) та системного (ПроМІП-С) моделювання. Розроблено модель об’єкта проектування та процесу автоматизованого проектування МЕМС на основі мереж Петрі і запропоновано використовувати теорію чутливості для підвищення ефективності автоматизованого проектування на ієрархічних рівнях. In the paper the structure of a system for automated MEMS design is proposed. The structure includes a subsystem for technological IC and MEMS development strategy modeling, subsystems for solid item (ПроМІП-Тв), functional (ПроМІП-Ф), and system (ПроМІП-С) modeling. A model for designed object and design process on the base of Petri nets on hierarchical levels was developed. To increase the efficiency of automated MEMS design process, the use of sensitivity theory is proposed.