MEMS disk bandpass filter mathematical model
Loading...
Date
2010
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Подано математичну модель МЕМС смугового п’єзофільтра (ПФ), побудованого на дисковій конструкції, що працює на радіальних коливаннях. Проведено дослідження частотної характеристики смугового ПФ від його геометричних параметрів, матеріалу та втрат у ньому. Отримані результати можна використати під час подальшого проектування МЕМС пристроїв. In this paper main characteristics of a piezoceramic bandwidth filter that is used radial oscillations for its work calculation method is proposed. Also there are considered influence of next parameters on its frequency characteristic: distance to second electrode, first electrode width and electric load value. MEMS bandwidth filter designing are given.
Description
Keywords
Citation
MEMS disk bandpass filter mathematical model / Y. Yakymenko, V. Pilinsky, О. Petrishev, Y. Yanovska, O. Bogdan, S. Zelenskyy // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2010. – № 680 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 172–180. – Bibliography: 5 titles.