Оцінка похибок вимірювання швидкості руху мікрооб’єкта телевізійним сканувальним оптичним мікроскопом у кадровому режимі роботи

Abstract

Проаналізовано похибки визначення швидкості руху мікрооб’єкта, що пов’язані із методикою вимірювання, параметрами сканувальної плями, нестабільністю формування сканувального растра (зміщення, зміна розмірів за рахунок стиснення чи видовження) та геометричними спотвореннями сканувального растра. Визначено максимальні значення похибок вимірювання швидкості руху мікрооб’єкта при різних дестабілізуючих факторах. Errors of microobject velocity of movement definition, which are connected to a technique of measurement, scanning spot parameters, instability of a scanning raster formation (displacement, change of the sizes owing to its narrowing or expansion) and geometrical distortions of a scanning raster are analyzed. The maximal values of the errors of microobject velocity of movement measurement by different instability factors are determined.