Метод комбінаційного розсіювання світла у термометруванні поверхні

Abstract

Метод, оснований на використанні комбінаційного розсіювання світла, дає змогу визначати температуру, використовуючи базові константи термометричної субстанції та результати прямих вимірювань. У результаті вивчення похибок цього методу аргументується можливість його застосування для термометрії теплових режимів у процесі виготовлення та експлуатації мікросхем. Метод, основанный на использовании комбинационного рассеяния света, дает возможность определения температуры с использованием базовых констант материала и результатов прямых измерений. В результате изучения погрешностей этого метода аргументируется возможность его использования для термометрии тепловых режимов в процессе изготовления и использования микросхем. The investigation of thermoelectric materials, which were made by powder metallurgy and were characterized as initially inhomogeneous and deformed, is required the special metrology of TEMP studies, because the materials are continuously changing their thermodynamic state and therefore the main properties.