Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу ємнісних акселерометрів

Loading...
Thumbnail Image

Date

2010

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Львівської політехніки

Abstract

Досліджено вплив конструктивних особливостей анкерів на вихідні параметри ємнісних конструкцій інтегральних акселерометрів.The article analyzes anchors influence of structural features on capacitive accelerometers integral structures output parameters.

Description

Keywords

ємнісний акселерометр, МЕМС, анкер, capacitive accelerometer, МЕМS, anchor

Citation

Романюк А. Б. Модель семантики в лінгвістичній теорії / А. Б. Романюк, М. М. Романишин // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2010. – № 685 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 20–29. – Бібліографія: 15 назв.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By