Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу ємнісних акселерометрів
No Thumbnail Available
Files
Date
2010
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Досліджено вплив конструктивних особливостей анкерів на вихідні параметри ємнісних конструкцій інтегральних акселерометрів.The article analyzes anchors influence of structural features on capacitive accelerometers integral structures output parameters.
Description
Keywords
ємнісний акселерометр, МЕМС, анкер, capacitive accelerometer, МЕМS, anchor
Citation
Романюк А. Б. Модель семантики в лінгвістичній теорії / А. Б. Романюк, М. М. Романишин // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2010. – № 685 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 20–29. – Бібліографія: 15 назв.