Багатофункціональна вимірювальна система на основі ниткоподібних кристалівSi1-xGex та КНІ-структур

Abstract

Створено багатофункціональну вимірювальну систему з використанням сенсорів деформації, тиску і температури на основі структур кремній-на-ізоляторі та ниткоподібних кристалів твердого розчинуSixGe1-x. Запропоновано схемне вирішення об’єднання їх в мережуETHERNET з використанням програмно- апаратних засобів. Multichannel measuring system based on strain, pressure and temperarure sensors on the basis of silicon-оn-insulator structures and SixGe1-xwhiskers has been made. Schematic diagram for their ETHERNET network integration using programmed hardware solutions has been proposed.