Термодинамічний аналіз складу газової фази системи InAs-GaAs-HCI
Loading...
Files
Date
2011
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Description
Keywords
Citation
Термодинамічний аналіз складу газової фази системи InAs-GaAs-HCI / І. А. Большакова, Я. Я. Кость, О. Ю. Макідо, Стецко Р. М., Шуригін Ф. М. // Чотирнадцята відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету "Львівська політехніка" з проблем електроніки : тези доповідей, 5–7 квітня 2011 р., Львів / Національний університет "Львівська політехніка". – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2011. – С. 8.